Aquí os dejamos una imagen representativa de cómo funciona un láser UV extremo y dos enlaces con información acerca del tema.
https://hardzone.es/2018/06/30/que-es-euv-extreme-ultraviolet-litography/
https://www.eetimes.com/document.asp?doc_id=1177520#
Jorge Bintanel, Luis Duque, Pablo Falces, Carlos Celaya y Daniel Aguilar.
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